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電子級羥基乙叉二膦酸(HEDP)
一、性能與用途
電子級HEDP為電子級高純產品,具有很強的金屬離子螯合能力,在半導體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝,可以提高研磨效率和光潔度,在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺,提高銅箔表面光潔度。
二、技術指標
項 目 | 指 標 |
外 觀 | 無色透明液體 |
活性(以HEDP計)/% | ≥60.0 |
單個金屬離子/ppb | 可根據(jù)客戶需求定制 |
三、包裝與貯存
電子級HEDP液體用電子級塑料桶包裝,每桶25kg或200kg,可根據(jù)客戶需求定制。貯存于室內陰涼通風處,貯存期十二個月。
四、安全與防護
電子級HEDP為酸性,操作時注意勞動防護,應避免與皮膚、眼睛等接觸,接觸后應立即用大量清水沖洗。
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